ปั๊มลอยด้วยแม่เหล็ก, CXF-200/1401E, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, ออนบอร์ด

คำอธิบายสั้น:

ตลับลูกปืนแม่เหล็กไฟฟ้าเรียกอีกอย่างว่า ”active magnetic levitated bears” ซึ่งประกอบด้วยตลับลูกปืนแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุม การออกแบบนี้มีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับในเวลาที่เหมาะสม เพลาความเร็วสูง และการทำงานที่เชื่อถือได้


รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่เพลาได้รับการสนับสนุนโดยอาศัยอำนาจแม่เหล็ก
ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานสำหรับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย ​​การผลิตชิป การชุบอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

เทคโนโลยี:

  • เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แม่เหล็กไฟฟ้าที่นำมาใช้นั้นเป็นแม่เหล็กลอยตัวแบบ 5 แกน การออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีควบคุมระบบกันสะเทือนแบบแม่เหล็กวงจรปิดแบบแอคทีฟไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมขั้นสูงระดับสากล เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานแบบลอยตัวที่เสถียรและเชื่อถือได้
  • เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์: มอเตอร์ DC ความเร็วสูงประสิทธิภาพสูงและระบบควบคุมเซอร์โวถูกนำไปใช้กับปั๊มแบบลอยด้วยแม่เหล็กแบบซีรีส์ ดังนั้นเพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้เกิดการเริ่มทำงานที่เสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และการควบคุมอัตโนมัติ หน้าที่ของพลังงานไดนามิก
  • เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมผลิตขึ้นโดยการผสมอลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา เมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบนั้นมีลักษณะเด่นในการรับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมากและความแข็งแกร่งที่เพิ่มขึ้นอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
  • เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำในปั๊ม เพื่อให้เกิดการทำงานของก๊าซกัดกร่อนที่ระบายออกได้อย่างเสถียรเป็นระยะเวลานาน
  • ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน: ซีรีส์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กติดตั้งฮีตเตอร์ไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้น้ำหล่อเย็น ความร้อนจากกระดูก ความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่เกิดจากก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมระหว่างการทำงานได้ รักษาอุณหภูมิในปั๊มได้ที่ ค่าบางอย่างในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่เปลี่ยนเป็นสารที่เป็นของแข็งที่อุณหภูมิปกติและไม่สะสมในปั๊ม และข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษเช่นการแกะสลักสามารถบรรลุได้

ข้อดี:

1.ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ

2. ง่ายต่อการรับสูญญากาศสูงและสูญญากาศสูงพิเศษโดยไม่ต้องหล่อลื่นสำหรับปั๊ม

3.สามารถสกัดก๊าซกัดกร่อนได้ในระยะยาว

4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากมีการป้องกันตลับลูกปืนด้วยลูกเซรามิกที่มีความแม่นยำ

5.ฟังก์ชันสร้างพลังงานในกรณีที่ปิดเครื่องกะทันหัน

ข้อมูลจำเพาะ:

แบบอย่าง CXF-200/1401E
ความเร็วปั๊ม (ลิตร/วินาที, อากาศ) 1400
อัตราการบีบอัด >1×107
อัลติเมท แวคคั่ม(Pa) ≤2×10-6
หน้าแปลนขาเข้า DN200 ISO F
DN200 ISO CF
หน้าแปลน Outlet KF 40
ความเร็วในการหมุน (รอบต่อนาที) 33000
เวลาทำงาน (นาที) 6
VIB (มม.) <0.05
ปั๊มสำรอง (L/s) 15
การติดตั้งหรือ ientation ใด ๆ
วิธีการทำความเย็น น้ำ
น้ำหนัก(กก.)(พร้อมคอนโทรลเลอร์) 51

การใช้งาน:

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กส่วนใหญ่ใช้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบอุตสาหกรรมและเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัด CVD PVD และการฝังไอออนและก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ


  • ก่อนหน้า:
  • ถัดไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา

    หมวดหมู่สินค้า