ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่เพลาได้รับการสนับสนุนโดยอาศัยอำนาจแม่เหล็ก
ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานสำหรับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย การผลิตชิป การชุบอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์
เทคโนโลยี:
- เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แม่เหล็กไฟฟ้าที่นำมาใช้นั้นเป็นแม่เหล็กลอยตัวแบบ 5 แกน การออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีควบคุมระบบกันสะเทือนแบบแม่เหล็กวงจรปิดแบบแอคทีฟไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมขั้นสูงระดับสากล เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานแบบลอยตัวที่เสถียรและเชื่อถือได้
- เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์: มอเตอร์ DC ความเร็วสูงประสิทธิภาพสูงและระบบควบคุมเซอร์โวถูกนำไปใช้กับปั๊มแบบลอยด้วยแม่เหล็กแบบซีรีส์ ดังนั้นเพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้เกิดการเริ่มทำงานที่เสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และการควบคุมอัตโนมัติ หน้าที่ของพลังงานไดนามิก
- เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมผลิตขึ้นโดยการผสมอลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา เมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบนั้นมีลักษณะเด่นในการรับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมากและความแข็งแกร่งที่เพิ่มขึ้นอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
- เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำในปั๊ม เพื่อให้เกิดการทำงานของก๊าซกัดกร่อนที่ระบายออกได้อย่างเสถียรเป็นระยะเวลานาน
- ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน: ซีรีส์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กติดตั้งฮีตเตอร์ไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้น้ำหล่อเย็น ความร้อนจากกระดูก ความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่เกิดจากก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมระหว่างการทำงานได้ รักษาอุณหภูมิในปั๊มได้ที่ ค่าบางอย่างในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่เปลี่ยนเป็นสารที่เป็นของแข็งที่อุณหภูมิปกติและไม่สะสมในปั๊ม และข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษเช่นการแกะสลักสามารถบรรลุได้
ข้อดี:
1.ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ
2. ง่ายต่อการรับสูญญากาศสูงและสูญญากาศสูงพิเศษโดยไม่ต้องหล่อลื่นสำหรับปั๊ม
3.สามารถสกัดก๊าซกัดกร่อนได้ในระยะยาว
4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากมีการป้องกันตลับลูกปืนด้วยลูกเซรามิกที่มีความแม่นยำ
5.ฟังก์ชันสร้างพลังงานในกรณีที่ปิดเครื่องกะทันหัน
ข้อมูลจำเพาะ:
แบบอย่าง |
CXF-200/1401E |
ความเร็วปั๊ม (ลิตร/วินาที, อากาศ) |
1400 |
อัตราการบีบอัด |
>1×107 |
อัลติเมท แวคคั่ม(Pa) |
≤2×10-6 |
หน้าแปลนขาเข้า |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
หน้าแปลน Outlet |
KF 40 |
ความเร็วในการหมุน (รอบต่อนาที) |
33000 |
เวลาทำงาน (นาที) |
6 |
VIB (มม.) |
<0.05 |
ปั๊มสำรอง (L/s) |
15 |
การติดตั้งหรือ ientation |
ใด ๆ |
วิธีการทำความเย็น |
น้ำ |
น้ำหนัก(กก.)(พร้อมคอนโทรลเลอร์) |
51 |
การใช้งาน:
ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กส่วนใหญ่ใช้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบอุตสาหกรรมและเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัด CVD PVD และการฝังไอออนและก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ