ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่เพลาได้รับการสนับสนุนโดยอาศัยอำนาจแม่เหล็ก
ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานสำหรับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย การผลิตชิป การชุบอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์
ข้อดี:
1. แรงเสียดทานเป็นศูนย์ระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ
2. ง่ายต่อการรับสูญญากาศสูงและสูญญากาศสูงพิเศษโดยไม่ต้องหล่อลื่นสำหรับปั๊ม
3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว
4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากมีการป้องกันลูกปืนด้วยลูกปืนเซรามิกที่แม่นยำ
5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ปิดเครื่องกะทันหัน
6. ปราศจากแรงเสียดทาน
7. ปราศจากมลภาวะ
8. ไม่มีการบำรุงรักษา
9. การสั่นสะเทือนต่ำ
10. ติดตั้งในทิศทางใดก็ได้
การใช้งาน:
ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กส่วนใหญ่ใช้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบอุตสาหกรรมและเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัด CVD PVD และการฝังไอออนและก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ
ข้อมูลจำเพาะ:
แบบอย่าง |
CXF-320/3001E |
ความเร็วปั๊ม (ลิตร/วินาที, อากาศ) |
3200 |
อัตราการบีบอัด |
>1×108 |
อัลติเมท แวคคั่ม(Pa) |
≤5×10-7 |
หน้าแปลนขาเข้า |
ISO-F 320 |
หน้าแปลน Outlet |
KF 40 |
ความเร็วในการหมุน (รอบต่อนาที) |
24000 |
เวลาทำงาน (นาที) |
12 |
VIB (มม.) |
<0.05 |
ปั๊มสำรอง (L/s) |
15 |
การติดตั้งหรือ ientation |
ใด ๆ |
วิธีการทำความเย็น |
น้ำ |
น้ำหนัก(กก.)(พร้อมคอนโทรลเลอร์) |
75 |
เทคโนโลยี:
- เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แกนลอยแบบ 5 แกนตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานแบบลอยตัวที่เสถียรและเชื่อถือได้
- เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์: มอเตอร์ DC ความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวที่มีประสิทธิภาพสูง มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้เกิดการเริ่มต้นที่เสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชั่นการควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
- เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: ผลิตจากโลหะผสมอะลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา โดดเด่นด้วยการลดน้ำหนักที่ยอดเยี่ยมและการปรับปรุงความแข็งแรงอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
- เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องเพาะเลี้ยงได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็ม เพื่อป้องกันชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำในปั๊ม เพื่อให้เกิดการทำงานของก๊าซกัดกร่อนที่ระบายออกได้อย่างเสถียรเป็นระยะเวลานาน
- ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน: ติดตั้งฮีตเตอร์ไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ น้ำหล่อเย็น ความร้อนจากลมกระดูก ความร้อนไฟฟ้าและความร้อนที่เกิดจากก๊าซป้องกัน สามารถตรวจสอบและควบคุมระหว่างการทำงาน อุณหภูมิในปั๊มสามารถคงค่าไว้ได้ในระยะยาว ก๊าซบางส่วน สารจะไม่ถูกแปลงเป็นสารที่เป็นของแข็งที่อุณหภูมิปกติและไม่สะสมในปั๊ม และสามารถปฏิบัติตามข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษของการกัดดังกล่าวได้